آب فوق خالص (به انگلیسی: Ultrapure Water) به آبهای خالص تر از آب مقطر که هدایت الکتریکی آنها کمتر از ۲ میکرو زیمنس بر سانتی متر باشد اطلاق می شود. حداکثر خلوص آب ازنظر هدایت الکتریکی تا ۰٫۰۵۶ میکروزیمنس می تواند برسد. غالبا در زمان کنترل آب خالص بجای محاسبه هدایت الکتریکی از واحد مقاومت الکتریکی که بر حسب مگااهم و معکوس میکرو زیمنس است استفاده می شود. به این ترتیب مقاومت الکتریکی آب فوق خالص با هدایت الکتریکی ۰٫۰۵۶ میکروزیمنس ۱۸ مگا اهم است.
آب فوق خالص ازطرفی به آب دیونیزه ای گفته می شود که در پروسه تولید مراحل حذف ذرات غیر یونی کلوئیدی و باکتری یا ویروس و مواد آلی که به شکل غیر یونی ممکن است در آب اولیه بودهاند به وسیله فیلتراسیون از آب اولیه حذف شده باشند.
چرا که در سیستمهای دیونایزر خصوصا در روشهای قدیمی صرفا از فیلترهای رزینی کاتیونی و آنیونی استفاده می شده است که در آن صورت فقط حذف ذرات یونی مورد توجه قرار داشتند.
در سیستمهای جدید دیونایزر (آب خالص ساز) از فیلترهای ULTRA FILTER و NANO FILTER و R.O که ذرات تا سایز ۰٫۰۰۰۱ میکرون را غربال می کنند استفاده می شود.
به این ترتیب با تلفیق این فیلترها با یک سیستم دیونایزر میتوان به یک آب فوق خالص دست یافت این آب در کلیه آزمایشهای HPLC و نانوتکنولوژی و تحقیقاتی میتواند مورد استفاده قرار گیرد.